负载：机械系统中部件的弯曲可能引起定位误差。

正交性：适用于通过XY工作台来实现精确定位，X轴与Y轴的行程必须完全互为直角（正交）。如果两行行程不正交，则Y轴行程在X方向会产生定位误差，反之亦然。

齿隙：齿隙是传动装置中轮齿啮合齿之间的间隙函数。正常的齿隙允许齿轮啮合而不会卡在一起，以提供润滑空间。例如，当丝杠螺母经常反向转动时，可能会产生过大的齿隙，从而导致定位误差。

滞后：滞后误差指由于系统对增加和减少的输入信号所产生的不一致响应而导致的实际位置与命令位置之间的差异。

要应用最有效的方法校正定位误差，首先应确定错误是否可重复。当目标位置的偏差是可测量的且可重复时，可以在伺服驱动中使用某些函数或算法，以实现并保持必要的精度。当定位误差是随机的且不规则时，通过外部设备可实现最佳校正。